模拟集成电路设计-MOS器件物理基础（模集系列持续更新）

学习目的

欠缺的学习路径：

1. 固体物理，半导体器件物理，器件模型，电路设计。
2. 所有的半导体器件都看成一个黑盒子，只关注端电压电流。
   最佳的学习路径：两手抓，因为有些二阶效应会影响到电路本身.
   本章节学习MOS器件的建模，研究MOS晶体管的结构然后推导它的I/V特性。会讲一些二阶效应，比如体效应、沟道长度调制效应和亚阈值传导等二级效应。会讨论下MOS的寄生电容问题，然后推导MOS的小信号模型及SPICE模型。

先验知识：掺杂、迁移率、pn结

基本概念

MOSFET开关

先讨论简化的模型

G、S、D分别表示简化模型中MOS管的三个端口，G是栅极（Gate），S是源极（Source），D是漏级（Drain）。在不施加任何电压的情况下MOS管是对称的，所以谁是源极谁是漏极就是看外部所加的电压。图示是一个n型的mos管，当我们给G极加高电平时，晶体管的漏级和源极就接到了一起，当我们给G极加低电平时，晶体管的漏极和源极就是断开的。

上面那段描述不是很精确，比如说多大的电压算高电平？（skip-1）器件导通（断开）时电阻多大？（skip-2）源漏电阻和各端电压有关系吗？（skip-3）有关系的话关系是怎么样的？我能不能用线性电阻来替代源漏之间的通路？器件的速度怎么样？【question-1】

看，我们提出了这么多疑问，接下来就慢慢的解答！

MOSFET 结构

上图是NMOS的器件结构图，可以理解成用显微镜看到的结构。至于怎么做出来的NMOS，可以看这篇文章【question-2】。看到上面这张图，我们来学习一下MOS的一个大致结构。p型衬底我们一般称为bulk或者body，在衬底上掺入杂质形成两个重掺杂的n区（将来就是源极和漏极）。整个结构上面那个凸起，也就是重掺杂的多晶硅区（poly）是栅极，用一层$Si{O}_2$（栅氧层）将栅极和衬底隔离开来。整个器件起作用就起在栅氧层下面的衬底部分。

接下来我们看几个认为规定的物理量：

1. 栅长L和栅宽W：可以看到栅极长得像一个立方体，俯视图就是一个长方形，沿着源漏方向的栅极长度我们称为栅长$L$，与之垂直的方向的栅的长度我们称之为栅宽$W$（在集成电路工艺中往往$W$>$L$，但是在数学中我们常常把矩形的短边称为宽）。
2. 有效栅长$L_{eff}$ ：由于源和漏的扩散，导致实际的距离不会有 $L$
3. $L_{eff}=L_{down}-2L_D$ ：$L_{drawn}$是总长度（ $L_{drawn}$也是晶体管在画版图时的尺寸），而 $L_D$是横向扩散的长度。
4. 氧化层厚度$t_{ox}$：表示栅氧层的厚度
   影响集成电路性能的关键参数： $L_{eff}{t}_{ox}$

我们会产生一个疑惑：既然MOS是一个对称的结构，那为什么要把两个 $n^{+}$ 区域一个称为漏极，一个称为源极呢？（skip-4）
还有一个就是我们注意到MOS结构里面有衬底，我们还没有对衬底对整个器件的影响进行探讨。（skip-5）



实际上衬底的电位对器件的影响是很大的。我们不应该把MOS看成三端器件，而应该是四端的。常规的MOS工作状态我们需要保证源漏极和衬底组成的二极管处于反偏状态【question-2】，所以我们常常将NMOS的衬底接到系统最低电位。举个例子，整个电路工作在0~1.2V的话， $V_{subNMOS}=0$。我们通常通过如下图方式来实现衬底电位的施加。通过在衬底上掺杂出一个 $p^{+}$区域然后再加电压。我们把衬底加电压的这一个端口称为B（bulk）端口。

如今我们常用的一种技术是互补MOS技术 (CMOS-Complementary MOS)，这种技术同时使用PMOS和NMOS。根据上面NMOS的结构图我们可以简单的把各个掺杂区域取反得到PMOS的结构图，如下

但是实际上我们做芯片都是做在一块晶片上，这就意味着所有MOS的衬底都相同。所以我们不可能让一块衬底具有两种极性的掺杂。这就要求我们需要把其中一种MOS做在局部衬底上，并且我们把这种局部衬底称为“阱”，英文名是"well"。通常，现代CMOS工艺中，PMOS器件做在n阱里，如下图所示。

由于NMOS是做在一块大的p衬底上的，这就意味着我们给衬底加电压一般只有一个选择（要照顾到所有的NMOS），也就是说只能给NMOS的p衬底拉到系统最低电压。但是对于PMOS来说不一样，基本上是好几个PMOS做在一个阱中，那么我们可以给这几个PMOS的阱相同的电压，这个电压虽然说是高电压，但是没说一定要是系统最高电压，我可以让这个PMOS的B端电压等于S极电压，这都是NMOS所不具备的特点。这种特性有一定的应用。【question-3】

现代深n阱工艺

我们上面看到PMOS具有局部衬底这个特点，那我们其实可以仿照这种形式给NMOS也设计一个阱。下图这种形式就是深n阱工艺，这会导致面积开销。那优点呢？【question-4】

MOS符号

1. 数字和模拟中习惯的MOS表达方式不一样
2. MOS符号某些时候能反映MOS的加压方式

第一种画法

这是最常规的MOS符号，把MOS的每个端子都标识出来了，通常NMOS的N极我们放到下面，PMOS的S极我们放上面，因为通常NMOS的源极接低电压，PMOS的源极接高电压。

第二种画法

这种画法把B给删掉了，大多数电路中，NMOS的bulk接地，PMOS的bulk接VDD。

第三种画法

在数字电路中我们往往只把MOS当成一个开关来看，不太关注电流的流向，所以我们会发现MOS的箭头没了，区分NMOS和PMOS的方法就是看栅极有没有小圆圈。有小圆圈表示低电平导通，那就是PMOS，反之则是NMOS。